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产品名称 : 高纯气体

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产品详细:

无机气体产品

体名称	化学式	规格（%）	杂质（ppm）
氦气	He	99.995	TCH4≤1 CO2≤1 Ne≤10 H2≤3 CO≤1 H2O≤10
氦气	He	99.999	O2≤1 TCH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤1
氩	Ar	99.99	O2≤10 THC≤10 N2≤50 H2≤5 H2O≤15
氩	Ar	99.999	O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4
氢	H2	99.99	O2≤5 CO2≤5 N2≤60 TCH4≤10 CO≤5 H2O≤5
氢	H2	99.999	O2≤1 CO2≤1 N2≤5 TCH4≤1 CO≤3 H2O≤1
氮	N2	99.99	O2≤50 CO2≤10 N2≤10 CO≤5 H2O≤15 CH4≤30
氮	N2	99.999	O2≤1 H2O≤2 H2≤1 THC≤3
氧	O2	99.995	Ar≤20 CO2≤1 N2≤20 THC≤2
二氧化碳	CO2	99.999	O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 THC≤1
一氧化碳	CO	99.95	N2<350，O2<50，H2O<5
二氧化硫	SO2	99.97	O2+N2<100，H2O<10，其他<200
一氧化氮	NO	99.5	N2O<4000、NO2<2000、N2<300、CO2<500
硫化氢	H2S	99.9	H2<200ppm、O2+N2<100ppm、H2O<3ppm
氯化氢	HCl	99.9%
氯化氢	HCl	99.99%
氯化氢	HCl	99.999%	N2≤4，CO2≤5，H2O≤1，O2+Ar≤1，TCH≤1
液氯	Cl2	99.9	CO2<400、CO﹤10、H2<200，N2<100、O2<20、H2O<100
液氯	Cl2	99.999
氨	NH3	99
氨	NH3	99.999	O2<1.0ppm、N2<2.0ppm、CO﹤1.0ppmH2O<2.0ppm THC（C1~C3）<1.0ppm
六氟化硫	SF6	99.99	O2≤10 H2O≤5 N240 HF≤0.1 CF4≤25
合成空气	Air	O2:19.5-22.5	H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤5
零点空气		O2:19.5-22.5	H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤0.1

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